第368章 光刻机故障（上） (第2/2页)

孟小刚沉吟一下，说道：“我和其他几名工程师，刚刚已经把负责移动和定位的伺服电机、感应器、传动部件，全部拆了出来，我们推测，问题很可能出现在这三个部件的身上。有您提供的那两台五轴数控加工机床，咱们的机械加工精度提上来了，但加工用的合金钢材质量相较岛国的产品，依旧有所欠缺。加工出来的零件当时使用没问题，但工作时间一长，磨损加剧，问题就暴露出来了。”

吴志航点了点头，认可了孟小刚的推测，“这样吧，你是晶圆厂的厂长，比我更清楚晶圆厂这里的现状，就由你带着李高官他们去参观，我去光刻机那边看看情况。如果咱们国产的合金钢真的不堪使用，只能采购一批进口货，先顶上了。”

说罢，吴志航向李高官和梁市长告罪一声，将导游的任务交给了孟小刚，他本人则脚步匆匆的往车间深处走了过去。

吴志航赶到损坏的光刻机旁边的时候，光刻机研发实验室的梁安平教授，已经带着几名研究员，赶了过来。他们带来了一套备用的伺服电机和传动零件，正在进行替换安装。见到吴志航赶来，梁安平将手上的工作交给副手，开口询问道：“听说省里来了个视察团，正在晶圆厂这边参观，你这个当大老板的，不陪着领导，怎么跑到这里来了？”

“李高官他们有小刚陪着就可以了，他才是晶圆厂的厂长，当这个向导更合适。我已经带着视察团在咱们公司转了大半天，说话说的嗓子都快冒烟了，正好休息一下。听说小刚说，三号光刻机也出了故障，和一号机的毛病完全一样，找到问题症结了吗？”

梁安平从一名工程师手里，拿过一枚拇指大小的伺服电机，给吴志航展示了一下，说道：“刚刚我用卡尺初步测量了一下，这枚伺服电机主轴，出现了将近半毫米的偏心。它一出毛病，和后面传动部件的咬合就出现了不严密的现象，然后层层传递，最终让整个传动系统全部损坏罢工。这次损坏方式虽然和一号机的情况有所不同，但反应出的问题，依旧集中到了原材料上。咱们从国内钢铁厂搞来的特种和金钢，在韧性，耐磨损，耐高温，等方面，和岛国的产品，依旧有不少的差距。”

吴志航从梁安平手里接过伺服电机，用手指捻动了一下，齿轮带动主轴旋转了好几圈重新停下。就算不用工具测量，只凭肉眼，吴志航就看出了主轴存在不小的偏心问题，他皱了皱眉头，说道：“当初我搞来五轴加工机床的时候，不是交给你们几张合金的配方吗。按说那些材料的性能，用来加工伺服电机主轴和传动零件，应该足够使用了。这都过去快一个月了，难道炼钢厂方面，还没讲那些合金冶炼出来？”

梁安平苦笑了一下，说道：“你提供的合金配方，性能确实十分的强大，甚至都超过了岛国和欧美国家对外出售的合金材料的性能。但是生产哪几种合金材料，需要非常先进的炼钢电炉，我们几乎找遍了国内的大小炼钢厂，也没找到符合要求的电炉。最终还是首钢的材料实验室接下了任务，用他们实验室进口的小型电炉尝试着生产了一批原材料。现在咱们光刻机上使用的很多零部件的原材料，就是他们按照你提供的配方，生产出来的合金钢。当时测试的时候，感觉性能已经很逆天了，虽然没达到你在资料上标注的性能，但比起国内先前的合金钢，要强了太多。现在看来，这些依旧远远不够，材料性能这方面，还真是来不得半点的马虎。”

“那现在问题如何解决，你们现在替换上去的零件，依旧是使用那批合金钢加工的吧，那质量不是依旧不合格，换上去能顶十天还是半个月？要不，咱们先从岛国进口一批高性能合金钢应付着，等钢铁厂那边攻克了合金钢量产问题，咱们再换回国产货。”